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  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "拋光墊".ckeyword (精準) and year="110"


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    數位雙生系統於搖臂式拋光墊修整之分析與預測研究
    • 機械工程系 /110/ 碩士
    • 研究生: 潘巧昕 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究目的為建立搖臂式拋光墊修整之數位雙生系統,整合搖臂控制模組及動態量測模組透過Modbus通訊協議連接實體搖臂與應用程式,可收集搖臂之實時資料,並透過彩色共軛焦感測器架設於搖臂上,以近似阿基米德…
    • 點閱:242下載:0
    • 全文公開日期 2024/09/26 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/09/26 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/09/26 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    化學機械平坦化之行星式及搖臂式動態模型對拋光墊修整分析與影響研究
    • 機械工程系 /110/ 碩士
    • 研究生: 宋政潮 指導教授: 陳炤彰
    • 在化學機械平坦化製程中,化學拋光液和晶圓移除的殘屑可能會積 聚在拋光墊表面,通過修整製程去除這些殘屑。故此拋光墊修整對於 CMP 性能至關重要且影響 IC 製造良率。本研究主要針對比較行星式修 整和…
    • 點閱:128下載:3
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